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RMA系列自動匹配器

  • 全數字控制,匹配精度高,匹配時間短
  • 超寬匹配范圍,可定制適配任意負載
  • 具有手動/自動匹配功能
  • 具有保持和預置設定功能

RMA系列自動匹配器

適用領域:

    可適配于RLS系列射頻電源使用,廣泛應用于等離子刻蝕、鍍膜、等離子清洗、等離子去膠等工藝。單獨使用時,可與其他廠家射頻電源配套使用。

產品特點:

l  全數字控制,匹配精度高,匹配時間短

l  采用真空電容,可靠性高,使用壽命長

l  結構緊湊,體積小,安裝便捷

l  超寬匹配范圍,可定制適配任意負載

l  具有手動/自動匹配功能

l  具有保持和預置設定功能

l  具有通訊功能,可獨立連接上位機實時顯示負載狀態

l  可定制化輸出接口

 


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